DHM发展历史

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Thickness-Measurement-Sio2-pattern Thickness_Measurment-SiO2-staircase[1]发展历史

全息技术最早是由Denis Gabor于1947年发明的,当时他提出了创新的全息技术用于改进电子显微镜[20] ,他本人因这项发明于1971年获得了诺贝尔物理学奖[21] 。
上世纪60年代末到70年代初,陆续出现了关于数字全息概念的报道,即利用数字成像取代传统胶片曝光的方式来记录全息图,之后再通过数值重建来还原物体图像[22-24]    。然而,当时的数字成像水平和计算机数值处理能力远远不能满足数字全息的实用化,因此在经历了最初几年的研究热潮之后,数字全息技术陷入了沉寂。不过,对数字全息技术的研究并没有中断,而是逐渐细分为两个不同的方向:一是由全息图数值重建物体图像,二是由物体三维模型数值计算出全息图。这两个方向并行发展到今天,即是我们所说的数字全息显微(DHM)和计算机生成全息图(Computer-generated Holography,检测CGH)。
到了上世纪90年代中期,数字成像传感器和计算机处理能力有了大幅度的发展和提高,但当时的成像传感器主要是兼容各种彩电制式(PAL、NTSC或者SECAM)的低像素传感器,只能够勉强满足数字全息显微的要求,离实用化相距甚远[25] 。最早关于数字全息显微应用的报道来自瑞士洛桑联邦理工学院(EPFL)的Etienne Cuche(目前为瑞士Lyncée tec公司CTO)[26] 。
给数字全息显微技术带来革命性发展的是20世纪初数码照相机的普及,市场被需求所驱动不断推出各种低成本高像素的CCD或者CMOS图像传感器。与此同时,在全息技术中关键的激光器也受益于半导体产业的发展,出现了各种超小型高性能的激光二极管,为数字全息技术的普及和实用化提供了必要条件。在这之后,诞生了最早几家提供数字全息显微技术的商业公司,4Deep inwater imaging, Phase Holographic Imaging, 和Lyncée tec。其中瑞士Lyncée tec是市场上最早也是目前唯一同时提供透射式和反射式专业全息显微镜的公司,DHM®为其公司注册商标。