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AFM用悬臂

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AFM用悬臂的共鸣周波数,根据不同的行为进行观察,任何地方的振动和配置数值化,也 … 继续阅读

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微系统与微机电系统MEMS多维振动分析

图8、DHM同时检测MEMS器件面内和离面运动 图8、DHM同时检测MEMS器件 … 继续阅读

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