硅- SiO2 – Au多层结构的弧坑孔深度

硅- SiO2 – Au多层结构的弧坑孔深度

硅- SiO2 – Au多层结构的SIMS校准样品(Secondary Ion Mass Spectrometry在depth profiling),AFM测量不适合在巨大的结构,精度的测量,好难DHM是高分辨率测量,传统方法(能接触式形状测定装置)相比也同等测量得到的结果。在DHM纳米~微米广泛的微波炉对应,非破坏,非接触且能在短时间内的3次元形状评价可能。

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