MEMS悬臂梁(MEMS cantilever)是MEMS中结构最简单但应用和研究都极其广泛的器件

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MEMS悬臂梁(MEMS cantilever)是MEMS中结构最简单但应用和研究都极其广泛的器件。 本视频利用数字全息显微镜DHM实时观测悬臂梁不同谐振频率下的振动模式。 使用设备:Lyncee Tec DHM R2100

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