微光学元件检测(表面形貌测量,折射率)

数字全息显微镜在表征微光学元件的应用方面也具有独特优势,特别是透射式DHM,由于使用投射折射原理,相比于使用反射原理的反射式DHM,对于微光学元件的可测量边界角度大大增加。图11展示了数字全息显微镜测量微透镜阵列.

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