微系统与微机电系统MEMS多维振动分析

图8、DHM同时检测MEMS器件面内和离面运动 图8、DHM同时检测MEMS器件面内和离面运动 数字全息显微镜在记录全息图时也记录下了图上每个像素点的三维信息,因此能够实现对每个像素点的三维同步实时跟踪,在测量微系统与微机电系统MEMS的多维振动应用上体现了独一无二的优势。对于离面(Out-of-plane)运动的测量达到了MEMS激光测振仪(也被称为MEMS分析仪)的精度,而对于面内(In-plane)运动的测量精度则远远超过目前市场上其他MEMS分析仪的测量精度,达到了1纳米[13] 。如图8所示,数字全息显微镜实现了对MEMS器件面内和离面运动同步实时跟踪。数字全息显微镜在频闪模式下还能记录在高频谐振下MEMS的不同模态,如图9所展示的MEMS悬臂梁不同频率下的谐振模态。

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