数字全息显微镜R系列Datasheet

反射式数字全息显微镜(DHM® -R),非扫描非接触无损测量,显示静态和动态三维形貌,表征 周期振动。
数字全息显微镜DHM® – R 系列
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三维形貌时序图: 水滴蒸发的全过程
反射式数字全息显微镜 DHM® -R
DIGITAL HOLOGRAPHIC MICROSCOPY
超高速记录动态三维形貌
DHM® 采用非扫描机制,采集单帧图像既能记录样品表面三
维形貌,因此拥有其他技术无法匹敌的图像采集速度。使用
标准相机采集速度为视频速率30帧/秒,而高速相机可以达
到1000帧/秒,使得以下应用变为可能:
• 研究可形变样品三维动态响应
• 表面大区域扫描分析
• 高产量常规检测
• 生产线在线三维形貌捕捉
多种可控环境下测量
独特的光学原理和光路设计使得DHM® 能够满足使用
者在各种环境下的测量需求,提供灵活和便利的测量
体验:
• 透过玻璃(盖玻片、载玻片、玻璃窗口)或者浸润液
• 观测环境控制箱或真空腔内部样品,可改变环境参
数,比如温度、湿度、气压、气体成分等
测量透明样品三维形貌
得益于DHM® 多激光源配置,通过专用反射分析软件
(可选配件)可以表征透明薄膜样品,包括:
• 透明结构表面形貌
• 多层透明薄膜组成结构的厚度、折射率,测量范围
可从10纳米至几十微米
• 柔性材料或是液体的形貌
MEMS测振分析,最高可达25 MHz
频闪模块(可选配件)可同步DHM® 测量时激光脉冲与 MEM
S器件的激励信号,获取振动周期内的全视场振动模态。 这些
特有的分析数据可提供以下信息:
• 三维形貌时序图
• 频率共振分析和响应分析
• 面内面外振幅分析(面内振幅测量精度1nm,面外振幅测量
精度5pm)
• 复杂运动表征,振动模态表征,样品动态三维形貌
无与伦比的速度
独具创新的技术
数字全息显微镜DHM®
数字全息显微镜DHM® 是Lyncee Tec公司的专利技术。其工作原理为:全息图由参考光束和经被测物体表面反射
的物光光束相互干涉形成,携带有被观测物体的波前信息,由数码相机捕捉,再通过计算机对所记录的全息图进
行数值重建来得到被测物体的相位和振幅(光强)信息,进完成被测物体的数值三维重建。
数字全息显微镜DHM® 的纵向精度是由激光的本征波长来校准的,因此提供了激光干涉级别的高精度和高可重复
性的量测数据。纵向分辨率达到了亚纳米,横向分辨率则由所选物镜决定。
另外得益于对所记录全息图的先进数字重建运算,DHM® 可数值选取所需聚焦的像面(数字自动聚焦)。这一功能
也允许用户在数据记录后重新寻找聚焦像面,而无需再调整样品实际高度。
时间轴
DHM® -R 透过玻璃窗口测量真空腔内样品
Innovation Park, Batiment A Represented by
1015 Lausanne
Switzerland

DHM-R – 0814 / Printed in Switzerland / © Lyncée Tec SA 2014 / All rights reserved
反射式数字全息显微镜DHM® -R拥有三种型号,主要区别在于不同的激光源数量:
> R1000型配备单激光源,是测量平滑表面和振动的理想工具。
> R2100型配备可以同时使用的双激光源,在测量复杂表面和非连续结构时更有优势。
>
R2200型是在R2100型基础上扩展了第三个激光源,增加测量范围的同时,也增添了针对半透明薄膜 结构的测量能力。
DHM® 提供针对不同应用的完整解决方案,有多种配件可供选择
• 除标准物镜,还可选长工作距、盖玻片矫正、水镜、油镜等
• 电动样品台提供自动拼接功能
• 开发者软件包SDK供用户实现定制功能
• 频闪模块供MEMS器件测振分析
• 真空腔提供各种可控测量环境
1 定义为对单个像素点进行30次测量所取的时间标准偏差
2 定义为测量精度的两倍
3 定义为无样品情况下30次重复测量的一个西格玛sigma Rq值
4 由所选激光源和工作波长决定
* 使用 / 不使用单波长映射 (single wavelength mapping)
** 更多物镜信息请浏览 www.lynceetec.com/microscope-objectives